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2013-04-10创立 天津 022-59781212
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行业分布
智能科技、半导体、CMP抛光液
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产品
CMP化学机械抛光装备 晶圆减薄设备
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华海清科HWATSING品牌介绍

华海清科2013年成立,总部天津,科创板上市企业,国内CMP抛光装备龙头厂商,国家级专精特新“小巨人”企业。公司专注半导体高端装备研发制造,是国内首家实现12英寸CMP抛光设备产业化并大规模进入国内头部晶圆产线的本土企业,搭建天津研发与生产基地,拥有全套设备自研、装配、工艺验证能力,核心专利覆盖抛光设备机械结构、压力控制系统、在线检测、工艺算法等领域,产品批量供应中芯国际、长江存储、长鑫存储等国内主流12英寸晶圆制造企业。

公司核心产品为CMP抛光设备,是晶圆制造实现纳米级全局平坦化的核心设备,设备可完成氧化层、金属层、多晶硅等各类膜层抛光工艺,适配逻辑芯片、3DNAND、DRAM存储芯片、第三代半导体、先进封装、MEMS等场景。除CMP主机设备之外,同步配套供应CMP抛光垫、设备易损件等耗材,提供设备维保、工艺开发、晶圆再生加工服务。依托多年设备工艺沉淀,可为客户提供抛光工艺联合开发、设备参数调优、耗材配套选型一体化方案。产品线同时覆盖减薄机、离子注入机、湿法清洗设备等半导体装备,逐步拓展平台化半导体装备业务。

华海清科可为晶圆制造、先进封装、功率半导体企业提供CMP设备选型、工艺联合开发、设备安装调试、量产维保、耗材配套全周期服务,派驻工艺工程师驻厂配合抛光工艺开发,帮助客户完成产线良率优化。品牌持续迭代新一代CMP抛光装备,不断提升设备去除速率稳定性、晶圆缺陷管控能力,面向国内芯片制造企业提供半导体抛光设备与配套技术服务,推动集成电路前道核心装备国产化,助力国内半导体制造产业链自主可控。


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公司名称:
华海清科股份有限公司
法人代表:
王同庆
发源地:
天津
创立时间:
2013-04-10
企业地址:
天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
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