平田机工HIRATA品牌半导体晶圆真空机械手怎么样-平田机工HIRATA品牌介绍、联系方式-品牌网

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平田机工HIRATA

平田机工自动化设备（上海）有限公司

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2006-10-11创立上海 021-33655610

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半导体晶圆真空机械手

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平田机工是日本老牌半导体与显示基板传输装备厂商，深耕洁净与真空搬运机器人领域数十年，拥有丰富的真空密封、低释气结构与高精度运动控制技术积累。公司真空机器人分为晶圆真空机械手与大尺寸面板基板真空搬运机器人两大产品线，可在高真空环境下完成硅片、玻璃基板高精度转运，低微粒、低放气特性满足半导体刻蚀、沉积以及OLED蒸镀等严苛工艺工况，适配8/12英寸晶圆以及6G~10.5G显示基板。除真空机械手外，企业还提供EFEM晶圆前端模块、LoadPort、基板上下料系统，可为半导体、面板设备厂商提供整套物料传输解决方案。平田机工依托成熟的运动机构设计经验，持续优化真空机器人运行稳定性，产品长期供应全球头部半导体与显示设备厂商，是全球真空搬运机器人领域重要供应商。

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公司名称：

平田机工自动化设备（上海）有限公司

法人代表：

HIRATA TSUYOSHI

发源地：

上海

创立时间：

2006-10-11

企业地址：

上海市奉贤区环城西路2728号

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