大族富创得是国内泛半导体晶圆传输装备头部企业，专注半导体洁净与真空搬运机器人研发制造，拥有完整真空机械手自主研发、产业化能力，掌握真空波纹管密封、低释气材料选型、超精密运动控制等核心技术。公司真空晶圆机器人面向8英寸、12英寸半导体前道工艺腔体，可在高真空环境完成硅片高精度取放转运，具备低微粒、低放气、振动抑制优异、重复定位精度高等特性，适配刻蚀、PVD、CVD等半导体核心工艺。除真空机械手本体外，产品矩阵包含EFEM晶圆前端传输模块、LoadPort晶圆装载端口、晶圆存储单元，可提供整套晶圆物料上下料一体化解决方案。大族富创得依托多年半导体自动化装备落地经验，持续迭代真空机器人运动算法与结构设计，产品已批量配套国内多家半导体设备整机厂商与晶圆制造工厂，是国内晶圆真空传输装备国产化替代的核心供应商。