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答
半导体测试设备主要包括以下几类：
1. 测试机台：半导体测试机台通常用于测试芯片的功能、性能以及生产过程中的质量控制参数。它们包括逻辑测试机、混合信号测试机、射频测试机等。
2. 分析仪器：半导体测试分析仪用于分析和测量半导体器件和芯片的特性、电学性能以及信号处理能力。从技术上讲，它们包括示波器、频谱分析仪、网络分析仪等。
3. 控制器：半导体测试控制器负责控制测试机台的运行，以及数据的采集和分析。控制器的类型取决于测试项目的需求，一般都包括计算机、控制卡等。
4. 测试夹具：半导体测试夹具主要用于固定芯片，使其能够被测试机台连接并进行测试。它们是由专业厂家根据不同的测试需求设计和制造的。
5. 测试软件：半导体测试软件主要用于操作和控制测试机台，并提供数据采集和分析的功能。一般情况下，它们是通过计算机或控制卡来实现的。
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