普光仪是一种用于光学表面检测的设备,具有高精度、高灵敏度和可靠性等特点。普光仪的种类主要包括以下几种:
1. 反射式普光仪:反射式普光仪是通过光学反射原理检测表面平整度和形状的仪器,主要用于平面表面检测和光学元件的检测。
2. 成像式普光仪:成像式普光仪采用光学成像原理进行检测,可以获取表面的二维图像,并能够通过图像处理技术检测出表面的特征和缺陷。
3. 光栅式普光仪:光栅式普光仪是通过光栅条纹干涉原理检测表面形状和平整度的仪器,主要用于大型平面和曲面的形状测量。
4. 干涉式普光仪:干涉式普光仪基于光学干涉原理,通过测量光波的干涉现象来检测表面的平整度和形状,可以用于精密光学元件的检测。
5. 波前传感器:波前传感器是一种高精度的普光仪,采用自适应光学反馈技术测量表面形状和光学特性,广泛应用于航空航天、半导体制造等领域。