成功出货！先导智能突破激光“巨量转移”新技术

近日，先导智能自主研发的Micro LED激光巨量转移设备顺利出货，进入工艺验证阶段，成为国内仅有几台实现巨量转移的先进设备之一，代表了该领域科技力量的高水准。

Micro LED是继OLED之后的新一代显示技术，近年来愈发受到行业追捧。相比LCD、OLED显示，Micro LED的分辨率与色彩饱和度更好、功耗更低，在VR/AR、手机、平板等领域都具有极高的应用潜力。但Micro LED制程所涉及的巨量转移技术开发难度极大，是制约Micro-LED量产化应用的关键。如今先导智能成功开发激光巨量转移设备，大力推动了Micro LED行业的快速发展。

巨量转移技术主要是将数百万甚至数千万颗微米级的LED晶粒快速且精准地转移到驱动电路基板上，并与驱动电路之间形成良好的电气连接和机械固定。实现这一操作，有多种技术路线可选，先导智能选用激光转移方式，利用材料对激光的吸收，引发界面的热膨胀，从而引起牺牲层的烧蚀，使Micro LED从原始衬底转移到接收衬底，若为GaN外延片，界面处的GaN缓冲层将分解成Ga和N2，实现芯片的分离和转移。

得益于在自动化制造领域的丰富经验，先导激光巨量转移设备在转移良率、可靠性等诸多方面具有独到优势。据验证，该设备巨量转移良率可达99.99%，转移精度达到±1um以内。设备本身基于先导家族式语言设计，结构合理，操作性强，结合模块化设计，能够替换不同结构以实现各项功能升级，并且采用先进的光学技术完成晶粒的全自动化转移作业，提升转移效率。应对不同产品，先导激光巨量转移设备可同时兼容2寸、4寸、6寸晶圆及多种承接/驱动基板。

激光技术是精密加工制造业的重要工具，自2019年起，先导智能便不断探索激光在各制造场景的应用，在刚刚兴起的新型显示领域，先导激光设备出货占比行业领先，并先后开发了LLO、巨量焊接、激光修复等先进工艺。

未来，先导智能将持续加大对激光设备的研发与投入，加快激光业务在显示面板、半导体、消费电子、新能源、新型显示等细分行业的布局，推动激光融合传统产业同步升级，释放激光在智能制造领域的更高价值。