本发明涉及一种气体质量流量控制系统，包括：气体质量流量控制器，其与一气体管路连接，用于计量或控制流经气体管路的气体质量或流量；能量捕获装置，用于捕获气体质量流量控制系统周围环境中的机械能量；以及，能量存储装置，其一端连接能量捕获装置，用于存储捕获的机械能量，其另一端与气体质量流量控制器连接，用于向气体质量流量控制器供电。其不需外部电源供电，简化了系统、有利于降低设备故障率；且节约了能源、低碳环保，便于在行业内推广应用。