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北方华创科技集团股份有限公司
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发明专利
CN201611092596.8
硅片清洗的调度方法及调度系统
发明专利
CN201610101512.6
一种提高晶片腐蚀均匀性的装置及方法
发明专利
CN201510010027.3
一种晶片夹持装置
发明专利
CN201610564980.7
半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置
发明专利
CN201310750547.9
气体质量流量控制系统
发明专利
CN201610739227.7
一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置
发明专利
CN201510698073.7
一种具有去除静电作用的清洗装置和清洗方法
发明专利
CN201510431795.6
一种清洗液体收集装置
发明专利
CN201610741151.1
一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置
发明专利
CN201510627963.9
一种改善晶圆腐蚀非均匀性的装置和方法
发明专利
CN201610739229.6
一种频率动态变化的超声波/兆声波清洗装置
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