一种具有去除静电作用的清洗装置和清洗方法

授权公布号：CN105149308B

有效

申请

2015-10-23

申请公布

2015-12-16

授权

2017-07-25

预估到期

2035-10-23

申请号	CN201510698073.7
申请日	2015-10-23
申请公布号	CN105149308A
申请公布日	2015-12-16
授权公布号	CN105149308B
授权公告日	2017-07-25
分类号	B08B11/00;B08B3/02;B08B3/08;H05F3/06
分类	清洁;
申请人名称	北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利法律状态

2020-08-25 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):B08B11/00；变更事项:专利权人；变更前:北京七星华创电子股份有限公司；变更后:北方华创科技集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号；变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

2017-07-25 授权

状态信息

授权

2016-01-13 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B08B11/00；申请日:20151023

2015-12-16 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种具有去除静电作用的清洗装置，包括一本体，本体上部设有一至若干个液体进口和一至若干个气体进口，本体下端中部设有一连通液体进口的液体出口，本体下端还设有一或若干个连通气体进口的气体出口，气体出口为喇叭形；其中，当气体出口为一个时，其环绕液体出口设置，当气体出口为若干个时，其以对称方式均匀环绕在液体出口外侧设置。本发明还公开了一种具有去除静电作用的清洗方法，可在清洗有效区域内消除静电放电电弧及去除晶圆表面的静电，同时又不影响清洗工艺腔室的层流风运作。