一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置

授权公布号：CN106340477B

有效

申请

2016-08-26

申请公布

2017-01-18

授权

2019-08-20

预估到期

2036-08-26

申请号	CN201610741151.1
申请日	2016-08-26
申请公布号	CN106340477A
申请公布日	2017-01-18
授权公布号	CN106340477B
授权公告日	2019-08-20
分类号	H01L21/67;H01L21/02;B08B3/12
分类	基本电气元件;
申请人名称	北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利法律状态

2020-09-01 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L 21/67；专利号:ZL2016107411511；变更事项:专利权人；变更前:北京七星华创电子股份有限公司；变更后:北方华创科技集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100016 北京市朝阳区北京市朝阳区酒仙桥东路1号；变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

2019-08-20 发明专利权授予

状态信息

授权

2017-02-15 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L 21/67；申请日:20160826

2017-01-18 发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种能量均匀分布的超声波/兆声波清洗装置，在本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有压电材料，底部石英部件设有石英微共振腔阵列，石英微共振腔阵列自本体下端面的开口伸出，可通过石英微共振腔阵列对传播方向与晶圆表面方向不垂直的超声波/兆声波能量进行选择性去除，并通过超声波/兆声波能量控制单元根据实时位置反馈单元从喷淋臂旋转电机采集的本体在晶圆表面的相对位置信息，对信号源输出电信号进行调整，经压电材料转换后，使晶圆表面的任意位置在单位时间内获得同样的超声波/兆声波能量，从而实现整个晶圆范围内超声波/兆声波能量的均匀分布。