一种清洗液体收集装置_专利查询-品牌网

授权公布号：CN105161442B

一种清洗液体收集装置

有效

申请

2015-07-21

申请公布

2015-12-16

授权

2018-02-23

预估到期

2035-07-21

申请号	CN201510431795.6
申请日	2015-07-21
申请公布号	CN105161442A
申请公布日	2015-12-16
授权公布号	CN105161442B
授权公告日	2018-02-23
分类号	H01L21/67;H01L21/02
分类	基本电气元件;
申请人名称	北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利法律状态

2020-08-25 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L 21/67；专利号:ZL2015104317956；变更事项:专利权人；变更前:北京七星华创电子股份有限公司；变更后:北方华创科技集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号；变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

2018-02-23 发明专利权授予

状态信息

授权

2016-01-13 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L 21/67；申请日:20150721

2015-12-16 发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种清洗液体收集装置，包括进气部分、清洗液体收集部分和气‑液分离部分，通过进气部分向清洗液体收集部分通入气体，在气体出口处形成环形气帘，与晶圆表面甩离的清洗液体发生非弹性碰撞，使清洗液体改变运动方向，进入气液收集空腔，并通过气‑液分离装置分离排出，可减少液体清洗介质在液体收集结构侧壁处的回溅，防止二次污染的发生，并可同时提高液体清洗介质的回收效率。