一种频率动态变化的超声波/兆声波清洗装置

授权公布号：CN106238302B

有效

申请

2016-08-26

申请公布

2016-12-21

授权

2018-10-16

预估到期

2036-08-26

申请号	CN201610739229.6
申请日	2016-08-26
申请公布号	CN106238302A
申请公布日	2016-12-21
授权公布号	CN106238302B
授权公告日	2018-10-16
分类号	B06B1/06;B08B3/12
分类	一般机械振动的发生或传递;
申请人名称	北方华创科技集团股份有限公司
申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利法律状态

2020-08-25 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):B06B1/06；专利号:ZL2016107392296；变更事项:专利权人；变更前:北京七星华创电子股份有限公司；变更后:北方华创科技集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:100016 北京市朝阳区北京市朝阳区酒仙桥东路1号；变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

2018-10-16 发明专利权授予

状态信息

授权

2017-01-18 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B06B1/06；申请日:20160826

2016-12-21 发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种频率动态变化的超声波/兆声波清洗装置，包括本体和超声波/兆声波频率控制单元，本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有压电材料，压电材料连接本体外的信号源，底部石英部件设有石英微共振腔阵列，石英微共振腔阵列自本体下端面的开口伸出，超声波/兆声波频率控制单元连接在信号源和压电材料之间，可通过石英微共振腔阵列对传播方向与晶圆表面方向不垂直的超声波/兆声波能量进行选择性去除，并通过超声波/兆声波频率控制单元改变信号源输出电信号的频率，使压电材料产生的超声波/兆声波振动频率动态变化，实现对图形晶圆的无损伤清洗。